赤外線検出器

Infrared detector

Abstract

PURPOSE: To widen an angle of field of view and reduce cost by a method wherein infrared detecting elements are formed on a substrate having selective infrared transmitting function. CONSTITUTION: A substrate 1 is provided with a multi-layer thin film 2, having selectively infrared transmitting function, on one side thereof. The infrared detecting element 11 is constituted of a laminated body consisting of a SiN insulating layer 4, showing a bridge structure having an air gap 3 on one surface of the substrate 1, which has no multi-layer thin film 2, an upper electrode 7, a thin film element 6, having pyroelectric effect, and a lower electrode 5. In the infrared detector 10, the infrared detecting elements 11 are arrayed on a matrix consisting of 5 elements in the axis of ordinate and 10 elements in abscissa on the substrate approximatedly with spaces respectively. The upper electrodes 7 and the lower electrodes 5 of respective infrared detecting elements 11 are connected in parallel. Further, the infrared detector 10 is provided with a connecting part 13, functioning as a trimming zone, in a wiring passage, in which the parallel connection of respective elements is effected. According to this method, the coincidence of the characteristics of respective elements with a high accuracy is permitted. COPYRIGHT: (C)1994,JPO&Japio
(57)【要約】 【目的】 本発明は、検出視野角が広く、外乱ノイズの 無い、低コストで検出感度の良好な赤外線検出器を提供 することを目的とする。 【構成】 本発明の赤外線検出器10Aは、赤外線選択 透過フィルター2を片面に持つ赤外線透過基板1と、そ の基板上に形成された、焦電効果により赤外線を検出す る赤外線検出単位素子11を複数個近接して配列し、各 赤外線検出単位素子を電気的に並列接続し、かつ並列接 続する配線路にトリミング領域13を設けることによっ て形成された赤外線検出素子10を、複数個用いて構成 したものである。 この構成により、視野角が広く、周 辺温度変化による外乱ノイズの無い、生産性が良く高感 度な赤外線検出器10Aを提供することが出来る。

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    JP-2016510398-AApril 07, 2016イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド, イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド表面積が増大したirセンサー